化学抛光

1、半导体器件上铜层化学机械抛光(CMP)的第一道工序一般需要使用一块硬抛光垫，在磨去阻挡层的工序中要用到软垫。

2、还对金刚石膜机械抛光和化学抛光的工艺和机理进行了深入研究。

3、研究发现，某些氧化剂、大分子有机化合物、表面活性剂和重金属盐类的加入有利于提高化学抛光质量。

4、对镜面边缘进行斜削，以确保其与表壳的精确配合，再将两面进行化学抛光。

5、此化学抛光工艺设备投资小，抛光液价格低、寿命长，生产成本低。

6、为了提高铜及其合金的表面抗变色能力，研制了一种环保的化学抛光工艺和含稀土盐的新型钝化工艺。

7、文章论述了钢领化学抛光的特点，通过测试数据确定了钢领化学抛光液的成分，介绍了具体处理工艺。

8、抛光垫表面特性能可大大改变抛光液的流动情况，从而影响化学机械抛光的抛光性能。

9、本发明公开了一种化学机械抛光液，其含有溶胶型二氧化硅、速率增助剂、表面活性剂和水。

10、主要研究了适合铝及铝合金的碱性化学抛光液及抛光工艺。

11、抛光垫修整是化学机械抛光的重要过程之一。

12、铝件在电解氧化前往往需要进行化学抛光处理，以增加其表面光洁度和光亮度。

13、将铸钛修复体的化学抛光方法应用于临床。

14、用途：用作玻璃蚀刻剂，金属表面的化学抛光剂、酿酒的消毒剂，防腐剂，纤维的媒染剂，也用于提取稀有元素等。

15、基础实验测试结果证明化学抛光效果明显优于手工打磨。

16、较新的材料,如Syton这种化学?机械抛光剂正开始使用.

17、这种变异无法避免而且在深亚微米领域，受限于光刻分辨率；氧化层腐蚀造成厚度的改变，因化学机械抛光铜金属线使铜金属层所造成的不平坦碟型缺陷等种种因素变得更加严重。

18、必须先做除锈及去氧化膜处理，一般使用化学抛光或电解抛光。造句 网

19、实验表明，脉冲电化学机械抛光是一种有效的镜面加工方法。

20、铜及铜合金制品经高温氧化后氧化皮过厚，进行化学抛光处理难度较大。